Espectrómetros SIMS para análisis de superficies

SIMS Workstation

Familia de instrumentos UHV construida alrededor de una cámara multifunción grande, pensada para crecer: se parte de una configuración y se añaden funciones según se necesiten. Combina SIMS estático, perfiles de profundidad y SNMS con el espectrómetro MAXIM, y admite el cañón de oxígeno IG20 y el de cesio IG5C. La cámara tiene un puerto superior para un espectrómetro XPS y uno frontal para una fuente de rayos X no monocromática.

• Tres configuraciones: Foundation, SIMS Workstation y SIMS WorkstationPlus
• Cañón IG20 de argón/oxígeno de serie; cañón IG5C de cesio en la WorkstationPlus
• Espectrómetro MAXIM de 9 mm con detección SNMS
• Manipulador X-Y y precámara en la SIMS Workstation; trampa fría de N₂ líquido e inundación de oxígeno en la WorkstationPlus
• Cañón de electrones para compensación de carga

ToF-qSIMS Workstation

Combina un analizador de tiempo de vuelo, que detecta en paralelo todo el espectro de iones secundarios antes de superar el límite de SIMS estático, con el cuadrupolo MAXIM para perfiles de profundidad de alta resolución y alto rango dinámico. Los espectros de huella, ricos en fragmentos de masa alta, identifican polímeros, fármacos, catalizadores y contaminantes, y la imagen hiperespectral guarda un espectro por píxel para revisar la muestra en cualquier momento después de medir.

• Resolución de masas M/ΔM >1500
• Rango de masas hasta 10 ku
• Separa ²⁸Si (27,977 u) de C₂H₄ (28,031 u)
• Imagen hiperespectral: un espectro de masas por píxel
• Cuadrupolo MAXIM para SIMS dinámico y perfiles de profundidad

Compact SIMS

Equipo SIMS autónomo para caracterizar estructuras de capas, contaminación superficial e impurezas, con detección de iones positivos asistida por el haz primario de oxígeno y sensibilidad isotópica en toda la tabla periódica. Solo necesita un enchufe estándar y usa el mismo software y los mismos componentes que la serie Workstation, así que el usuario avanzado tiene acceso a las mismas funciones. La platina manual y la estructura interna visible lo hacen adecuado para docencia y para el laboratorio de rutina.

• Cañón primario de oxígeno IG20 y espectrómetro MAXIM de 6 mm
• SIMS estático y dinámico con imagen 3D
• Platina rotatoria manual
• Autónomo: alimentación monofásica de 2 kW
• Opcional: cañón de electrones y detección de iones negativos

AutoSIMS

Usa la misma fuente y el mismo analizador que el Compact SIMS, con un portamuestras grande y una platina automatizada para lanzar lotes de análisis desatendidos las 24 horas, con potencialmente cientos de análisis al día. También se maneja en modo manual, donde la precisión de la platina y la gran superficie de muestra sirven al usuario experto. Con el cañón de electrones EG500 analiza aislantes, y una cámara integrada facilita moverse por el portamuestras.

• SIMS estático y dinámico totalmente automatizado y desatendido
• Platina X-Y grande con casete de carga personalizable
• Cañón primario de oxígeno
• Parámetros de análisis introducidos por hoja de cálculo
• Resolución en profundidad nanométrica · mantenimiento modular

Dual Polarity SIMS Workstation

Sistema SIMS con análisis simultáneo de iones secundarios positivos y negativos. Te enviamos la información técnica de este sistema bajo petición: escríbenos.

MAXIM

Espectrómetro SIMS/SNMS compacto y de alta transmisión, pensado para el análisis rutinario de materiales y base de los sistemas SIMS de Hiden. Un filtro de energía de placas paralelas rechaza los iones de alta energía, y un ionizador por impacto electrónico en la entrada permite SNMS, más cuantitativo que SIMS cuando la matriz cambia, sobre todo en aleaciones metálicas. Extrae los iones 30° por debajo de su apertura, así que se monta fuera de eje y deja libre el espacio bajo la muestra.

• Detección de iones positivos, negativos y neutros
• Rango de masas de 50, 300, 510 o 1000 amu
• Filtro triple de 6 o 9 mm con filtro de energía integrado
• Campo de visión de 6 × 6 mm
• Campo de extracción bajo y apantallado (3 V/mm)

EQS

Detector SIMS cuadrupolar de alta transmisión con sector electrostático de 45° para analizar a la vez la energía de los iones. Recoge los iones en el eje con un campo de extracción bajo y apantallado, y su perfil delgado lo hace muy habitual como detector añadido en otros equipos de análisis de superficies, como microscopios FIB y equipos XPS. Con la opción de bombeo diferencial trabaja con la cámara hasta 1×10⁻⁵ mbar, lo que permite inundar con oxígeno.

• Analizador de energía de 45° con resolución hasta 0,2 eV
• Iones secundarios positivos y negativos; opción SNMS
• Rango de masas de 50, 300, 510 o 1000 amu, cuadrupolo triple de 6 o 9 mm
• Más de 6 décadas de rango dinámico
• Inserción estándar o a medida hasta 750 mm

FIB-SIMS

Detección SIMS en microscopios de haz de iones focalizado (FIB) mediante el detector EQS, que por su perfil delgado se monta en FIB y FIB-SEM. Con el haz focalizado del FIB, la resolución lateral de la imagen SIMS llega a las decenas de nanómetros, y la sensibilidad para elementos ligeros es muy buena.

• Resolución lateral de decenas de nm
• Sensibilidad sub-ppm para litio
• Integrado, por ejemplo, en los FIB-SEM Zeiss Auriga 60 y Crossbeam 340

Modular SIMS

Configuración de los componentes SIMS de Hiden en la que el cañón de iones, el espectrómetro, el cañón de electrones y la luz y la cámara van montados en una sola brida DN150 o mayor, para añadir SIMS a una cámara existente. En MBE se usa para el análisis in situ de la superficie del sustrato: composición, estructura y crecimiento del material.

• Cañón de iones, espectrómetro, cañón de electrones y luz/cámara en una brida DN150 o mayor
• Modo «Feature MS» para obtener el espectro de una zona concreta, como un contaminante o un borde de grano
• Interfaz de software SIMS personalizada

Custom SIMS Solutions

Los componentes SIMS de Hiden (cañones de iones y espectrómetros) se suministran por separado para añadir SIMS a una cámara o un equipo existente y para construir sistemas a medida para aplicaciones especiales. Usan el mismo software que la SIMS Workstation.

• Cañones con electrónica para medir corriente y perfil del haz (Faraday con supresión de electrones)
• Espectrómetros autoajustables con fuente de iones interna para medida RGA