Hiden Analytical · Analítica

Analizadores de gases residuales

Analizadores de gases residuales (RGA) de Hiden Analytical: espectrómetros de masas cuadrupolares para diagnóstico de vacío, detección de fugas, control de procesos de deposición de películas finas y análisis isotópico, desde el alto vacío hasta el XHV. Trece equipos, distribuidos en España y Portugal por JEV Instruments.

650 medidas/sVelocidad de adquisición de la serie RGA
<5×10⁻¹⁵ mbarLímite de detección con recuento de iones (HAL/3F PIC)
5000 amuRango de masas máximo (Serie 1000)
0,006 amuSeparación de masas en tiempo real (DLS-20)
3F Series / 1000 Series RGA de Hiden Analytical girando sobre su propio eje

¿No tienes claro qué nivel de especificación necesitas? Dinos la presión de trabajo, las especies a medir y el límite de detección, y te decimos qué configuración encaja.

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Portada del catálogo de Gases residuales y vacío de Hiden AnalyticalGases residuales y vacíoCatálogo de la familia
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Los trece analizadores de gases residuales de Hiden

Aplicaciones
  • Diagnóstico de vacío y análisis de procesos de vacío
  • Detección de fugas
  • Control en lazo cerrado de sputtering reactivo
  • Análisis de contaminación
  • Hornos de vacío y producción de semiconductores

RGA Series

Análisis de gases residuales

La serie RGA reúne los tres niveles de especificación de Hiden: HALO para análisis de gases residuales de uso general, HAL/3F con triple filtro para aplicaciones analíticas y HAL/3F PIC con recuento de iones para eventos rápidos. Todos los analizadores se entregan probados y calibrados.

  • Rango de masas de 50, 100, 200, 300 o 510 amu
  • Hasta 650 medidas por segundo
  • Detección de 1×10⁻¹¹ mbar (Faraday) a menos de 5×10⁻¹⁵ mbar (recuento de iones)
  • Detección de fugas con helio de alta sensibilidad
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Aplicaciones
  • Monitorización rutinaria de cámaras de vacío
  • Huella de vacío: histograma y perfil de picos
  • Detección de fugas
  • Tendencias de más de 80 especies en tiempo real

HALO RGA

Diagnóstico de vacío por composición residual

El analizador de uso general de la serie. Levanta la huella del vacío con barrido de picos e histograma, sigue más de 80 presiones parciales a la vez y elimina el blast de masa cero y la deriva de la línea base. Su sensibilidad al helio es cinco veces la de un analizador típico, lo que le da un rendimiento excelente en detección de fugas.

  • Rango de masas de 100, 200 o 300 amu
  • Faraday hasta 1×10⁻¹¹ mbar · multiplicador hasta 2×10⁻¹³ mbar
  • Presión máxima de trabajo 1×10⁻⁴ mbar
  • Obturador electrónico EBS y modo DeSat automáticos
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Aplicaciones
  • Líneas de haz
  • Sincrotrones
  • Aceleradores de partículas
  • Instalaciones Tokamak y Torus
  • Cámaras de UHV

HAL 201 RC

Análisis de gases residuales en UHV

Configurado para las aplicaciones de UHV y XHV más exigentes. Se elige entre una fuente de iones chapada en oro, que reduce los picos de la fuente por desorción estimulada por electrones, o una fuente horneada en vacío, que reduce la desgasificación de hidrógeno. Las dos están indicadas cuando la presión total está por debajo de 5×10⁻¹⁰ mbar.

  • Rango de masas de 200 amu (gama HAL: 100, 200 o 300 amu)
  • Presión parcial mínima detectable 5×10⁻¹⁴ mbar
  • Resistente a la radiación de serie, con opción reforzada de RF en remoto
  • Compatible con los drivers de EPICS
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Aplicaciones
  • Sincrotrones y aceleradores
  • Instalaciones Tokamak y Torus
  • Entornos de radiación dura
  • Cuantificación de isótopos de hidrógeno y helio (TIMS)

HAL 101X RC

Análisis residual en entornos de radiación

Resuelve el problema de los entornos de radiación dura eliminando la electrónica activa de las inmediaciones del analizador: el control puede quedar hasta a 80 metros sin perder rango de masas ni prestaciones, y sin blindaje. Para sincrotrones, aceleradores e instalaciones Tokamak.

  • Electrónica hasta a 80 m del analizador
  • Rango de masas completo de 100 amu
  • Modo TIMS para cuantificar isótopos de hidrógeno y helio en tiempo real
  • Vigilancia por canal de las desviaciones de presión
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Aplicaciones
  • Semiconductores
  • Óxidos y nitruros
  • Células solares
  • Diagnóstico de vacío y detección de fugas

HALO 201 MBE

Análisis residual para epitaxia por haces moleculares

La versión del HALO construida para cámaras de epitaxia por haces moleculares (MBE). Lleva de serie cableado de molibdeno en lugar de cobre y una pantalla de la fuente de iones resistente a la contaminación, para un uso prolongado en ese entorno.

  • Rango de masas de 200 amu
  • Cableado de molibdeno, que alarga la vida en entornos de MBE
  • Pantalla de la fuente de iones resistente a la contaminación
  • 1×10⁻¹¹ mbar (Faraday) y 2×10⁻¹³ mbar (Channelplate)
  • Extensor térmico opcional para medir durante el horneado
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Aplicaciones
  • Monitorización de procesos de vacío sin bombeo diferencial
  • Recubrimientos ópticos
  • ALD: seguimiento del proceso en tiempo real
  • Diagnóstico de vacío en modo RGA
  • Análisis de tendencias de varios componentes

HMT

Diagnóstico de vacío y seguimiento de proceso

Un RGA de doble modo que trabaja hasta 5×10⁻³ mbar sin bombeo diferencial, gracias a una combinación de fuente de iones y filtro cuadrupolar diseñada para ello y a un software que corrige la no linealidad de abundancias. En modo RGA llega al rango de 10⁻¹³ mbar, así que cubre el proceso y el diagnóstico de vacío con un solo equipo.

  • Modo de alta presión hasta 5×10⁻³ mbar, sin bombeo diferencial
  • Modo RGA hasta 10⁻¹³ mbar
  • Rango de masas de 100 amu
  • Estabilidad mejor que ±1 % en 24 horas
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Aplicaciones
  • Separación de N₂ y CO en la masa 28
  • Relaciones isotópicas de precisión, por ejemplo ⁴⁰Ar/³⁹Ar
  • Masas altas: fullerenos y clústeres
  • Haces moleculares y estudios de UHV y XHV

3F Series / 1000 Series RGA

Análisis residual con triple filtro

Espectrómetros de masas de triple filtro: un prefiltro y un posfiltro alrededor del filtro principal, que dan más sensibilidad en masas altas, más resolución y más resistencia a la contaminación. El HAL/3F llega a 510 amu; la Serie 1000, con varillas de molibdeno de 9 mm, llega a 5000 amu y separa N₂ y CO, que distan 0,011 amu en la masa 28.

  • HAL/3F: 50, 200, 300 o 510 amu, con detección hasta 2×10⁻¹⁴ mbar
  • Serie 1000: varillas de molibdeno de 9 mm y 50, 300, 510, 1000 o 5000 amu
  • Energía de electrones de 0 a 150 eV para el modo TIMS (Serie 1000)
  • Alta estabilidad para medidas de relación isotópica (Serie 1000)
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Aplicaciones
  • Ciencia de superficies en UHV
  • Análisis de radicales
  • Energía y biocombustibles
  • Estudios resueltos en el tiempo

EPIC / EPIC 1000 Series

Estudio de iones y especies neutras en UHV

Tiene todo lo que ofrece un RGA de altas prestaciones y añade el control del potencial del eje del cuadrupolo (pole bias) y la detección de iones negativos, lo que lo convierte en un espectrómetro de grado de investigación. Se amplía en fábrica con un filtro de energía, de tipo Bessel box o de campo sectorial de 45°, compatible con las sondas de plasma y SIMS de Hiden.

  • Control del potencial del eje del cuadrupolo (pole bias)
  • Detección de iones positivos y negativos
  • Espectrometría de masas por captura electrónica (EAMS)
  • Ampliable con filtro de energía, compatible con EQP, EQS, PSM y SIM
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Aplicaciones
  • Desorción estimulada por electrones (ESD)
  • Desorción estimulada por fotones (PSD)
  • Estudios de desorción térmica
  • Ciencia de superficies en UHV

IDP / IDP 1000 Series

Análisis de iones de desorción

Analiza directamente los iones de baja energía y los neutros de las técnicas de ciencia de superficies en UHV, con una óptica de iones de cuatro lentes para los iones generados fuera del analizador. Es el instrumento de la desorción estimulada por electrones o por fotones y de los estudios de desorción térmica.

  • Óptica de iones de cuatro lentes
  • Iones positivos y negativos, y neutros
  • Control del potencial del eje del cuadrupolo (pole bias)
  • Espectrometría de masas por captura electrónica (EAMS)
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Aplicaciones
  • Análisis cuantitativo de mezclas de gases y vapores en fusión
  • Cuantificación de isótopos de hidrógeno y de helio
  • Cuantificación de hidrocarburos deuterados

DLS-1

Análisis de gases para investigación de fusión

Espectrómetro de la serie DLS para el análisis cuantitativo en tiempo real de mezclas complejas de gases y vapores en aplicaciones de fusión. Trabaja con recetas de software basadas en la ionización por umbral (TIMS) para cuantificar isótopos de hidrógeno y de helio e hidrocarburos deuterados.

  • Rango de masas de 1 a 100 amu
  • Recetas de software basadas en TIMS
  • Isótopos de hidrógeno y de helio e hidrocarburos deuterados
  • Sensibilidad de D₂ en He de 100 ppm
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Aplicaciones
  • Análisis de isótopos de hidrógeno y de helio
  • He en D₂ y D₂ en He hasta 10 ppm
  • Análisis de gases ligeros
  • Fusión y entornos difíciles, con el analizador en remoto (DLS-2X)

DLS-2 / DLS-2X

Análisis de gases de fusión con doble zona

Espectrómetros de doble zona conmutable para el análisis de isótopos de hidrógeno y de helio y otros gases ligeros. Se ofrecen en dos configuraciones: una con zona de alta resolución hasta 22,5 amu, que separa 0,02 amu en tiempo real, y otra de ultra alta resolución hasta 10 amu, que separa 0,0065 amu. El DLS-2X lleva el analizador en montaje remoto, hasta a 140 metros de la electrónica sensible, para fusión y entornos de trabajo difíciles.

  • Doble zona conmutable
  • Zona H hasta 22,5 amu (0,02 amu) o hasta 10 amu (0,0065 amu)
  • Zona 1 de resolución estándar hasta 100 o 44 amu
  • Sensibilidad de He en D₂ y de D₂ en He de 10 ppm
  • DLS-2X: analizador hasta a 140 m de la electrónica
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Aplicaciones
  • Investigación de fusión nuclear
  • Análisis de isótopos de hidrógeno y de helio
  • Análisis de gases ligeros
  • Detección de ³He en HD

DLS-20

Separación de gases ligeros e isótopos

El DLS de más resolución y sensibilidad: monta el primer filtro de masas cuadrupolar de la industria con varillas de 20 mm. Su fuente de RF conmuta por software entre una zona H de ultra alta resolución, hasta 22,5 amu, que separa 0,006 amu en tiempo real, y una zona 1 de ultra alta estabilidad, hasta 200 amu. Detecta ³He en HD.

  • Cuadrupolo con varillas de 20 mm de diámetro
  • Zona H de ultra alta resolución hasta 22,5 amu
  • Zona 1 de ultra alta estabilidad hasta 200 amu
  • 0,006 amu de separación en tiempo real · 1 ppm de He en D₂
  • Detección de ³He en HD
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Aplicaciones
  • CVD y MOCVD
  • PECVD y ALD
  • Grabado por plasma
  • Diagnóstico de vacío portátil para varias cámaras

HPR-30 Series

Análisis de gases en procesos de vacío

Analizador de gases y vapores para procesos de vacío y diagnóstico de vacío. El orificio de la sonda de muestreo se lleva hasta la propia región de proceso, lo que optimiza la respuesta y la sensibilidad, y con la válvula de alta conductancia opcional el mismo equipo hace análisis de gases residuales por debajo de 10⁻⁴ mbar. Se monta sobre poste o sobre carro, para llevarlo de una cámara a otra.

  • Análisis directo de 10⁻⁴ mbar a 1 mbar, ampliable a 1000 mbar
  • 100 ppb de sensibilidad de serie, 5 ppb con filtro de masas de triple etapa
  • Rango de 200 amu, hasta 1000 amu con filtro de masas de triple etapa
  • Montaje sobre poste o carro, con válvula neumática opcional
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¿Otra configuración?

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