3F Series / 1000 Series RGA
El sistema HAL 3F RC de Hiden Analytical están diseñados para aplicaciones de análisis de gases residuales RGA de alta precisión para aplicaciones científicas.
Todos los RGA de Hiden están probados y calibrados, y disponen de una garantía de 3 años y asistencia de por vida.
3F Series / 1000 Series RGA – Detector rápido el para análisis de trazas de tiempo de vida corto.
El cuadrupolo de triple filtro minimiza la contaminación de iones no deseados, de modo que los filtros pre y post RF sólo funcionan a una frecuencia seleccionada diferente a la del filtro de masa principal.
Además de ser más largo, el filtro de masa poseé un diámetro de varilla más ancho (de 6 a 9 mm), lo que proporciona un rango de masa y una resolución superiores, una sensibilidad mejorada y una resistencia a la contaminación diseñada para las aplicaciones más exigentes.
Características
Opciones de rango de masa de 50, 300, 510, 1000 amu.
Diseños de polo de molibdeno de 6 mm y 9 mm.
Rango de masa y resolución superiores, sensibilidad mejorada y resistencia a la contaminación diseñada para las aplicaciones más exigentes.
Control completo de energía de electrones 0-150 eV para el modo de análisis TIMS complementario.
Disponible con detección SEM o PIC o con dos modelos opcionales de Faraday / SEM o Faraday / PIC.
Aplicaciones
Análisis térmico ms.
Catalisis.
TDP / TPR / TPO.
Quimisorción de pulso.
Cribado de catalizadores.
Mediciones de dispersión.
Isotermas de adsorción.
Estudios de reacción.
3F-PIC Transient mass spectrometer for fast event UHV studies
Los cuadrupolos de la serie 3F-PIC de Hiden Analytical incorporan un triple filtro de alta precisión con detectores digitales para lograr una sensibilidad y resolución máximas en aplicaciones de UHV TPD.
3F-PIC Analizador ultrarápido de trazas y especies de vida corta de alta resolución
Incluyen una cubierta de filtro de masa compatible con UHV opcional y una fuente de iones de bajo perfil para un posicionamiento cercano a la superficie de desorción.
Dispone de entradas analógicas y digitales para el inicio sincronizado de adquisición y la visualización de los datos de temperatura de muestra, junto con los datos del canal de masa.
El modo de detección de iones múltiple permite monitorizar más de 100 canales simultáneamente, cada uno con un conjunto único de parámetros de espectrometría de masas.
Se puede elegir entre las especies internas de la biblioteca, importarlas de la base de datos NIST MS a través del software MASsoft Professional.
Características.
Fuente de iones de bajo perfil.
500 puntos de datos por segundo.
Amplio rango dinámico.
Escala de registro continuo de 7 décadas.
Entrada de activación para estudios de gas pulsado por debajo de 100 nanosegundos de resolución de activación.
Aplicaciones
UHV TPD.
Análisis de superficies
Estudios de cristal individual.
Estudios de haz molecular.
Análisis de desorción flash.
RGA de alto rendimiento.
Estudios de desorción.
Estudios de desgasificación.
Ciclos de horneado.
Procesos contaminantes.
DLS-1 quadrupole mass spectrometer
Espectrómetro de masas de cuadrupolo de alto rendimiento para medir la concentración de la pureza del gas de combustible de fusión, incluyendo los isótopos de hidrógeno y el deuterio en helio, por ejemplo.
DLS-1 espectrómetro de masas con cuadrupolo.
Características:
El modelo DLS-1 de Hiden Analytical opera en zona I a más de 100 amu de rango de masa con resolución de masa unitaria.
Brida de montaje DN-35-CF. Brida tipo conflat de 70 mm OD.
Opción de montaje en remoto de dispositivos electrónicos sensibles a una distancia de hasta 80 m del entorno hostil.
Análisis cuantitativo de gases en tiempo real en un rango de masas de 1-200 amu,
Opera tanto en el análisis de masas convencional como en los modos TIMS.
Resolución de energía de electrones de 0,5 eV en el rango de 0-150 eV.
Aplicaciones habituales:
Investigación de la fusión.
Estudios de isótopos.
Estudios de sincrotron.
Nanotecnología
Análisis de gas residual.
DLS-10 quadrupole mass spectrometer
Espectrómetro de masas de cuadrupolo especialmente diseñado para el análisis de isótopos y helio y gases ligeros. Incluye un nuevo filtro de masas para una resolución superior.
DLS-10 espectrómetro de masas con cuadrupolo.
Características:
Diámetro de polo de 6 mm.
Los filtros de masa de varilla de 6 mm ofrecen ventajas significativas para el análisis de mediciones de isótopos.
Ultraalta sensibilidad.
Resolución ajustable de la unidad de masa a 0,005 AMU-FWHM.
Fuente de RF de alta frecuencia, estabilidad y potencia.
Ideal para el análisis de los isótopos HE y H.
Aplicaciones habituales:
Investigación de la fusión.
Estudios de isótopos.
Estudios de sincrotron.
Nanotecnología
Análisis de gas residual.
DLS-20 quadrupole mass spectrometer
Espectrómetro de masas de cuadrupolo especialmente diseñado para el análisis de isótopos y helio y gases ligeros. Incluye un nuevo filtro de masas para una resolución superior.
DLS-10 espectrómetro de masas con cuadrupolo.
Características:
Los filtros de masas de varilla de 20 mm ofrecen ventajas significativas para el análisis de las mediciones de relación de isótopos.
Picos planos superiores en la unidad de resolución de masa.
Ultrasensibilidad.
Resolución ajustable de la unidad de masa a 0,005 AMU-FWHM.
Fuente de RF de alta frecuencia, estabilidad y potencia.
Ideal para el análisis de los isótopos HE y H.
Aplicaciones habituales:
Investigación de la fusión.
Estudios de isótopos.
Estudios de sincrotron.
Nanotecnología
Análisis de gas residual.
EPIC / EPIC 1000 Series – System for UHV analysis of neutrals, radicals and ions
Los sistemas EPIC e IDP de Hiden Analytical ofrecen todas las funcionalidades de un RGA de alto rendimiento, pero además, incorporan un potencial de eje negativo en la mitad del eje polar, y una capacidad de iones negativos que los convierte en excelentes espectrómetros para aplicaciones de investigación.
EPIC / EPIC 1000 Series – Sistema para el análisis de iones, neutros y radicales en UHV.
El sistema EPIC puede adaptarse en fábrica para que incorpore un filtro de energía, ya sea de tipo Bessel box, o selector de campo de 45 grados, lo que garantiza la compatibilidad con los sistemas de análisis de plasma / SIMS de Hiden, incluidas las ondas EQP, EQS, PSM y SIM.
Características
Opciones de rango de masa a 5000 amu, 6 o 9 mm opciones de diámetro de polo.
Estabilidad mejorada a largo plazo (menos de ± 0.5% de variación de altura durante 24 h).
Distribución de energía de los iones mediante exploración de potencial de eje medio ± 100 V, con opción a 1000 eV.
Opción de contol de la fuente de iones para la ionización suave.
Sensibilidad mejorada para una alta transmisión de la masa, alineación automática de la escala de masa.
Contador de iones con rango dinámico continuo de 1: 107 c/s década.
Rango dinámico extendido a 5 x 1010 c/s con opción Faraday.
Resistencia a la contaminación mejorada a través de la etapa de prefiltro sólo de RF.
Resolución de señal de 100 nano segundos para distribuciones de energía y masa en función del tiempo o estudios TOF.
Lectura de temperatura integrada en pantallas de datos para aplicaciones de desorción térmica.
Cubierta compatible con UHV integral, opción de cubierta enfriada con nitrógeno líquido.
Control MASsoft a través de RS232, USB o Ethernet LAN.
Actualizable a la especificación de plasma /SIMS.
Aplicaciones
Ciencia de la superficie.
Ingeniería de superficies y películas delgadas.
Catálisis.
Estudios de haces moleculares.
Estudios de cluster.
HAL 101X – For tokamak/torus fusion research
El HAL 101X de Hiden Analytical sistema RGA para reactores de fusión nuclear tokamak/torus.
Dispone de un analizador remoto funcional a distancias de hasta 80 m de la electrónica sensible.
Incluye el sistema DLS-1, que proporciona un modo de espectrometría de masas con control de la energía de ionización (conocido como TIMS) que separa el Deuterio (D2) y el Helio-4 (4He).
HAL 101X – Para reactores de fusión tokamak/torus.
El modo TIMS permite el control de la energía de los electrones emitidos dentro de la fuente de ionización, lo que permite separar mezclas de especies de masa similar ionizando sólo aquellas que sean de nuestro interés y determinando, por ejemplo, el deuterio y el helio-4.
Los sistemas RGA de Hiden están diseñados para aplicaciones de analisis de gases residuales (RGA), análisis de gases y monitorización de procesos que incluye detección de fugas, análisis de tendencias y estudios de vacío.
El HAL 101X incorpora características adicionales para el análisis cuantitativo en tiempo real de mezclas complejas de gas y vapor en aplicaciones de fusión y entornos operativos hostiles.
Características
Acceso rápido a histogramas, análisis de tendencias y visualizaciones analógicas de picos.
Archivos de plantillas para analizar hidrocarburos compejos y deuterados.
Análisis cuantitativo de He / D2.
Visualización simultánea en tiempo real de datos de análisis de tendencias gráficas y tabulares.
Adquisición de datos desde múltiples sistemas vía Ethernet.
Alineación automática de la escala de masa.
Biblioteca espectral de masas integral con completas instalaciones de edición.
Funcionamiento del analizador cuadrupolo a distancias de hasta 80 m de la electrónica sensible.
Aplicaciones
Investigación de la fusión nuclear.
Análisis de gases residuales.
Detección de fugas.
Estudios de desgasificación.
Ciclos de horneado.
Rendimiento de bombas de vacío.
Procesos contaminantes del gas.
HAL 201 RC – Residual Gas Analyser configured for demanding UHV applications
El sistema HAL 201 RC de Hiden Analytical está diseñado para el análisis de gases residuales en aplicaciones exigentes, en la que se requieren mediciones críticas de UHV.
HAL 201 RC – Analizador de gases específico para entornos de ultraalto vacío (UHV).
Incluye de serie versiones chapadas en oro de todos los tipos de fuentes de iones, lo que permite minimizar la desgasificación de la fuente. Adecuada para aplicaciones en las que la presión total es < 5 x 10-10 mbar.
El sistema HAL de Hiden es totalmente compatible con el software de control de instrumentación más utilizado en todo el mundo, EPICS.
Características
Fuentes de iones bañadas en oro para minimizar la desgasificación de la fuente.
Ionizador de impacto electrónico con filamento de Iridium recubierto de óxido doble.
Faraday dual / channeltron electron multipler detector.
Presión parcial mínima detectable de 5 x 10-14 mbar.
Presión máxima de trabajo de 1 x 10-4 mbar.
Aplicaciones
Análisis de gases residuales.
Detección de fugas.
Desorción
Estudios de desgasificación.
Ciclos de horneado.
Rendimiento de bombas.
Procesos contaminantes del gas.
HALO 201 MBE – For molecular beam epitaxy applications
El sistema HAL 201 MBE de Hiden Analytical está diseñado específicamente para el análisis de gases residuales en aplicaciones de epitaxia de haces moleculares.
HALO 201 RC – Analizador de gases específico para Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Los sistemas HALO de Hiden están diseñados para aplicaciones RGA que incluyen detecciones de fugas, análisis de especies en función del tiempo y trazas de gases en vacío.
Construido con materiales compatibles para un uso prolongado en aplicaciones de MBE. Incluye de serie cableado de molibdeno en lugar de cobre y una cubierta de fuente de iones resistente a la contaminación.
Características
Cableado de molibdeno, en lugar de cobre para mejorar la vida útil del sistema RGA en entornos MBE.
Cubierta de fuente de iones resistente a la contaminación.
Dual Faraday /channelplate: multiplicador de iones.
Presión parcial mínima detectable hasta 2 x 10-13 mbar.
Opción de extensor térmico para operación RGA durante el horneado.
Aplicaciones
Producción de semiconductores.
Pilas de combustible.
HALO RGA
Los sistemas HALO de Hiden Analytical están diseñados para aplicaciones de análisis de gases residuales RGA y la monitorización de procesos, incluyendo análisis de huellas dactilares al vacío, detección de fugas y análisis de tendencias.
Todos los RGA de Hiden están probados y calibrados, y disponen de una garantía de 3 años y asistencia de por vida.
HALO RGA – Para el análisis de gases residuales.
Incorpora el software MASsoft Profesional para PC, que proporciona una rápida adquisición de datos a través de archivos de adquisición configurados por el usuario, así como modos preestablecidos o plantillas almacenadas. Incluye una biblioteca espectral interna.
Características
Opciones de rango de masa de 100, 200 y 300 amu.
Opciones de detector: Faraday o Faraday y multiplicador de electrones.
Obturador de viga automatizado EBS ™, que optimiza la supresión de ruido.
Modo DeSat ™ automático para un escaneo a alta velocidad, incluso en presencia de señales de saturación.
Detección de fugas.
Servidor incorporado netMASsoft, para la operación RGA desde tu navegador web.
Aplicaciones
Análisis de gases residuales.
Detección de fugas.
Desorción.
Estudios de desgasificación.
Ciclos de horneado.
Rendimiento de bombas de vacío.
Procesos contaminantes del gas.
Recubrimiento óptico de películas delgadas.
HMT – A dual mode RGA system for vacuum diagnostics and process monitoring
El espectrómetro de masas de cuadrupolo HMT de Hiden Analytical es un sistema RGA que incorpora un modo dual único, capaz de operar a presiones de hasta 5 × 10-3 mbar sin necesidad de bombeo diferencial.
La operación a esta presión se logra utilizando una combinación de una fuente de iones / filtro cuadrupolo especialmente diseñada y un software que corrige la no linealidad de la abundancia. La exclusiva especificación de alta presión hace que el HMT sea ideal para aplicaciones de monitorización de procesos.
Sistema para el análisis de gases para procesos en alta presión.
El HMT es para el análisis del proceso de vacío y el análisis de gas residual y es vital para las verificaciones de las condiciones de funcionamiento del proceso y el análisis del proceso para detectar contaminantes inesperados.
El sistema HMT también puede operar en modo RGA, de la misma manera que un RGA cuadrupolo tradicional. Los detectores duales de Faraday / multiplicadores de electrones proporcionan sensibilidades de presión parciales en el rango de 10-13 mbar. Los procesos típicos que se pueden monitorear incluyen CVD, grabado, PECVD y PVD. Una herramienta de proceso RGA para la resolución de problemas y el seguimiento.
Características
Modo HMT para operaciones de alta presión a 5 x 10-3 mbar (presión parcial mínima detectable 5×10-8 mbar).
Modo RGA para una alta sensibilidad oprando a P < 10-4 mbar (presión parcial mínima detectable 2 x 10 -11 mbar).
Rango de 100 amu, interfaz de control remoto (PC) a través del software MASsoft (menos de ± 1% de variación de altura durante 24 h).
Control del software MASsoft a través de RS232, USB o sistemas múltiples a través de Ethernet LAN.
Acceso rápido, escaneo en modo mixto en múltiples ventanas.
Display simultáneo para el análisis tiempo real de gráficos y tendencias tubulares.
Cursor para la identificación de la altura del pico bajo el control del ratón.
Resto de fondo en tiempo real, alineación automática de la escala de masa.
Instalación de exportación de datos a formato ASCII y a todos los dispositivos Windows.
Instalación de intercambio dinámico de datos para la transferencia de datos en tiempo real a otras aplicaciones de Windows ™ compatibles con el cliente DDE, por ejemplo: Excel, SPC-IV software de control de proceso estadístico.
Aplicaciones
Procesamiento de vacío.
Residual gas analysis.
Recubrimiento óptico de películas delgadas.
CVD/MOCVD/ALCVD.
IDP / IDP 1000 Series – System for ions, neutrals and radicals in UHV desorption studies
El IDP (Ion Disorption Probe) de Hiden Analytical está específicamente diseñado para el análisis de iones de baja energía a partir de técnicas de ciencia de superficie UHV.
Las aplicaciones incluyen desorción estimulada por electrones, desorción estimulada por fotones y estudios de desorción térmica.
IDP / IDP 1000 Series – Sistema para el análisis de iones, neutros y radicales en estudios de desorción en UHV.
Las series IDP y EPIC de Hiden tienen todas las caracteristicas de un RGA de alto rendimiento, incorporando además, la posibilidad de medir iones negativos que los convierte en excelentes espectrómetros de masas para investigación.
Características
Detector de recuento de iones de pulso con presentación continua de datos de siete décadas.
Observación directa de iones positivos / negativos, radicales y neutrales, masa y rendimientos.
Óptica Iónica de cuatro lentes con ionizador de electrones integrado y recubrimiento compatible con UHV.
Distribución de energía de los iones mediante exploración de potencial en el eje medio ± 100 V, 1000 eV opcional.
Filtro triple de alta sensibilidad de cuadrupolo, opciones de rango de masa hasta 5000 amu.
Resolución de señal de 100 nano segundos para distrubuciones de energía y masa en función del tiempo o estudios TOF.
Lector de temperatura integrado en pantallas de datos para aplicaciones de desorción térmica.
Estabilidad (menror de ± 0.5% de variación de altura en 24 horas).
Control MASsoft a través de RS232, USB o Ethernet LAN.
Aplicaciones
Ciencia de superficies.
Catálisis.
Ion Source Options
Hiden Analytical fabrica una grfan variedad de tipos de fuentes de alimientación, perfectamente adaptables a distintas clases de estudios de análisis de gas residual (RGA).
Las fuentes de iones son cruciales para el rendimiento de un RGA y tienen la capacidad de especificar qué fuente necesita para adaptarse a la aplicación para la que se ha de configurar.
Tipos de fuentes de ionización adaptadas a distintos tipos de ensayos.
Standard RGA – Una configuración simétrica parasu uso en aplicaciones generales.
UHV Low Profile – Optimizado para estudios UHV TPD, que permiten una mayor proximidad de la fuente de iones a la superficie de evolución.
Closed Source Para estudios de alta presión con entrada de gas, respuestas directas con la etapa de bombeo diferencial para el analizador.
XBS Cross Beam – Específicamente configurada para la monitorización y el control de la tasa de deposición de MBE.
Basic Cross Beam – Utilizada para el análisis de haces moleculares, donde el haz puede condensarse en las superficies ionizables. La fuente presenta una ruta sin obstrucciones a través de la región ionizante de la fuente. Están disponibles protectores externos para proteger el filtro de masa de cuadruplo de las especies condensantes.
Laser Cross Beam – La fuente incluye dos vías sin obstrucciones ortogonales para la ionización de protones con láser dentro de la región de la caja de la fuente, lo que proporciona una alternativa al impacto de electrones y la ionización por acoplamiento de electrones.
4 Lens Ion Optics with Integrated Ioniser – Además, permite el análisis de iones positivos y negativos de baja energía generados extgernamente al analizador. Para estudios de desorción estimulada por electrones, fotones y láser.
Fuente de iones de platino – Esta fuente está configurada para una mejor operación en gases reactivos. Radialmente simétrico, compatible con UHV
Fuente de iones chapados en oro – Esta fuente está configurada para minimizar los efectos de la desgasificación de la fuente. Radialmente simétrico, UHV compatible. Disponible como opciones estándar o de bajo perfil.
Características
El material estándar del filamento es iridio recubierto de óxido.
Otros materiales están disponibles bajo pedido.
Fuentes abiertas y cerradas disponibles.
Gama de fuentes de haz cruzado disponibles.
Opciones estándar y de bajo perfil disponibles.
Aplicaciones
Análisis térmico TA/MS.
Catálisis.
Reacciones cinéticas.
CVD/MOCVD/ALCVD.
Pilas de combustible.
RGA Series
Todos los analizadores de gas residual de Hiden Analytical están probados y calibrados, y disponen de una garantía de 3 años y asistencia de por vida.
RGA Series – Para el análisis de gases confinados en un recipiente o provenientes de procesos.
RGA Series de Hiden incluye tres niveles de especificación:
HALO RGA – Adecuado para el análisis de huellas dactilares al vacío, detección de fugas y análisis de tendencias.
3F Series RGA – Espectrometro de masas de triple filtro para aplicaciones analíticas. Proporciona un rango de masa y una resolución superiores, una sensibilidad mejorada y una resistencia a la contaminación diseñada para las aplicaciones más exigentes.
3F-PIC – Detección y recuento de iones de pulso para el análisis de eventos rápidos. La detección ultrarrápida del recuento de iones de pulso proporciona un rango dinámico continuo de siete décadas con una sensibilidad óptima en UHV /XHV.
Características
Opciones de rango de masa de 50, 100, 200, 300 o 510 amu.
Sensibilidad para alto vacío o ultraalto vacío.
Estabilidad (menos de ± 0.5% de variación de altura durante 24 h).
Control mediante el software MASsoft a través de RS232, USB o sistemas múltiples a través de Ethernet LAN.
Acceso rápido a histogramas, análisis de tendencias y sisualizaciones analógicas de picos.
Modo de escaneo mixto, por ejemplo: tendencia, histograma y picos analógicos en ventanas múltiples.
Visualización simultánea en tiempo real de datos de análisis y tabulares.
Cursor para la identificación de la altura del pico con el ratón.
Background subtract en tiempo real.
Alineación automática de la escala de masa.
Instalación de exportación de datos a formato ASCII y a todos los dispositivos de Windows netMASsoft, un servidor web incorporado para la operación RGA desde tu navegador web.
Aplicaciones
Análisis de gases residuales.
Detección de fugas.
Desorción.
Estudios de desgasificación.
Ciclos de horneado.
Rendimiento de bombas de vacío.
Procesos contaminantes del gas.
Recubrimiento óptico de películas delgadas.
XBS – Cross Beam Source: system for multiple source monitoring in MBE deposition applications
Las fuentes de haz molecular requieren un control preciso para el crecimiento de una película delgada de calidad y reproducible.
XBS (cross beam source – o fuente de haz cruzado) de Hiden Analytical es la herramienta más potente para espectrometría de masas de haz molecular.
XBS – Monitorización de haces moleculares en sistemas de deposición MBE.
Proporcionan una monitorización in situ de múltiples fuentes con salida de señal en tiempo real, para un control preciso de la deposición.
Características
Alta sensibilidad y rápida adquisición de datos. Señales para controlar las tasas de crecimiento de 0,01 Angstrom por segundo.
Detección mejorada de 100% a 5 ppb, rango de masa de 1 a 510 amu.
Estabilidad mejorada a largo plazo (menos de ± 0.5% de variación de altura durante 24 h).
Crossbeam ion source con una aceptación del haz a través de +/- 35 ° con respecto al eje transversal.
Control de la fuente de iones para la ionización suave y la apariencia de la espectrometría de masas.
Sensibilidad mejorada para alta transmisión de masa, alineación automática de la escala de masa.
Abertura de aceptación de haz de 2 mm: configurada para aplicaciones de usuario específicas.
Resistencia a la contaminación mejorada a través de la etapa de prefiltro RF.
Cubierta integral compatible con UHV regrigerada por agua.
Límites de detección de hasta 30 iones/segundo en estudios de haz molecular.
Monitorización de tasas de crecimiento de 1Å / minuto y menores.
Control MASsoft basado en Windows ™ a través de RS232, USB o Ethernet LAN.
Aplicaciones
Monitorización y control de MBE.
Estudios de haces moleculares.
Análisis de fuentes de haz múltiple.
RGA de alto rendimiento.
Desorción.
Estudios de desgasificación.
Ciclos de horneado.
Procesos contaminantes de gas.
