Hiden Analytical · Analítica

Entradas de muestreo y accesorios

Entradas de muestreo y accesorios para los espectrómetros de masas de Hiden Analytical: las interfaces que llevan la muestra hasta el analizador (gases desde 30 bar hasta alto vacío, hornos y TGA, líquidos y celdas electroquímicas) y los componentes que lo adaptan a cada técnica, como las fuentes de ionización para RGA y los cañones de iones primarios para SIMS. Cinco equipos y opciones, distribuidos en España y Portugal por JEV Instruments.

30 barpresión de muestra máxima, con el muestreador HT/HP
80 corrientespuntos de muestreo con un solo selector Proteus
1700 °Canálisis directo de hornos con la entrada Hot-zone
12,5 µl/minconsumo de muestra de la entrada Micro-flow
Equipo de la familia Muestreo y accesorios de Hiden Analytical

Para elegir la entrada, dinos la presión y la temperatura de la muestra, el caudal disponible, si lleva vapores condensables o corrosivos y cuántos puntos quieres muestrear. Con eso te decimos qué interfaz encaja con tu analizador.

Portada del catálogo de Muestreo y accesorios de Hiden AnalyticalMuestreo y accesoriosCatálogo de la familia
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Entradas, fuentes de ionización y cañones de iones

Aplicaciones
  • Gases desprendidos y OEMS con caudal limitado
  • Monitorización de procesos ALD
  • Medida de la entrada y la salida de un reactor
  • Hornos, glovebox y TGA-MS
  • Gases disueltos en aguas subterráneas, de mar y residuales

Entradas de muestreo HIDEN

Interfaces entre la muestra y el analizador

El conjunto de entradas intercambiables por el usuario que adapta un espectrómetro de gases Hiden a cada aplicación: capilares QIC para gases y vapores, entradas de baja presión y para ALD, selectores multicorriente, interfaces para hornos, glovebox y TGA, sondas y celdas de membrana para gases disueltos en líquidos, y accesorios para el HPR-40 DEMS. Todo sistema Hiden sale de fábrica con al menos una entrada y admite otras después; la compatibilidad de cada entrada con tu sistema se confirma antes. Para TGA-MS hay interfaces diseñadas para equipos de PerkinElmer, TA Instruments, Mettler Toledo, Setaram, Netzsch, Shimadzu, Hitachi y Micromeritics.

  • Presión de muestra desde 30 bar (HT/HP) hasta menos de 10⁻⁴ mbar (cabezal tri-válvula)
  • QIC estándar: de 2 bar a 100 mbar, hasta 200 °C y respuesta de 300 ms
  • Consumo de muestra desde 12,5 µl/min (Micro-flow)
  • Selectores multicorriente de 4 a 80 vías (MSV y Proteus), sin interferencia entre corrientes en el Proteus
  • Entrada Hot-zone para análisis directo de hornos hasta 1700 °C
Aplicaciones
  • TPD en UHV, con la fuente cerca de la superficie
  • Estudios a alta presión con entrada directa de gas
  • Análisis de haces moleculares y control de deposición en MBE
  • Desorción estimulada por electrones, fotones o láser
  • Trabajo con gases reactivos

Fuentes de ionización para RGA

Selección de la fuente según la aplicación

Hiden fabrica varios tipos de fuente de iones que se montan en toda su gama de RGA, y elegir la fuente es lo que ajusta el analizador a la aplicación. La gama va de la fuente estándar de simetría radial, para uso general, a versiones de perfil bajo para TPD en UHV, fuentes cerradas para alta presión con bombeo diferencial, fuentes de haz cruzado para haces moleculares y MBE, y fuentes de platino, chapadas en oro u horneadas en vacío para gases reactivos y UHV. Las fuentes son intercambiables.

  • Fuentes abiertas y cerradas, intercambiables entre sí
  • Versiones estándar y de perfil bajo
  • Filamento estándar de iridio recubierto de óxido; otros materiales bajo pedido
  • Haz cruzado básico, XBS y láser, con dos pasos libres para fotoionización
  • Óptica de 4 lentes con ionizador integral para iones positivos y negativos externos
Aplicaciones
  • SIMS dinámico y estático con O₂, Ar y Xe
  • Limpieza de muestras y perfiles en profundidad para XPS y Auger
  • Estudios fundamentales de la interacción ion-sólido
  • Fresado local y modificación de superficies

IG20

Fuente primaria de iones de gas

Cañón de iones de gas de 5 keV con fuente de impacto electrónico, pensado para SIMS, Auger y XPS. Se usa sobre todo con oxígeno, que aumenta la emisión de iones secundarios, pero produce haces de muchos gases, incluidos todos los gases nobles e incluso hidrógeno. Lleva dos filamentos independientes y conmutables, así que el análisis sigue aunque uno llegue al final de su vida. Es el cañón de las configuraciones SIMS de Hiden para el análisis de rutina.

  • Energía de iones de 1 a 5 keV
  • Corriente de haz de 10 pA a 600 nA
  • Tamaño de spot de menos de 100 µm a más de 1 mm
  • Doble filamento, normalmente más de 500 horas cada uno
  • Bombeo diferencial; gas desde botellas pequeñas a 0,3 bar
Aplicaciones
  • Perfiles SIMS en profundidad de elementos electronegativos
  • Perfiles en profundidad en modo CsM⁺
  • Análisis SIMS estático
  • Análisis cuantitativo de óxidos y nitruros

IG5C

Fuente primaria de iones de cesio

Cañón de iones de cesio autónomo para SIMS dinámico y estático. Su fuente miniatura de ionización superficial usa una sal de cesio segura y genera un haz intenso que una columna de dos lentes enfoca sobre la muestra; con un spot mínimo por debajo de 30 µm sirve también para imagen. El cesio favorece la detección de elementos electronegativos y permite el modo CsM⁺, útil en materiales mixtos y en óxidos. La gestión térmica de la fuente va integrada en el software Ion Gun Controller, con arranque y parada desatendidos.

  • Energía de iones de 1 a 5 keV
  • Corriente de 1 pA a más de 100 nA
  • Tamaño de spot de menos de 30 µm a más de 1 mm
  • Fuente autoalineable de cambio sencillo y columna de dos lentes
  • Bombeo diferencial

XPS for SIMS

Integración de XPS en una estación SIMS

Integración de XPS y SIMS en un mismo sistema. La cámara de la SIMS Workstation admite un espectrómetro XPS por el puerto superior y una fuente de rayos X no monocromática por el frontal; y, a la inversa, el analizador EQS se monta como detector SIMS en equipos XPS existentes.

  • Puerto superior de la SIMS Workstation preparado para un espectrómetro XPS
  • Puerto frontal optimizado para una fuente de rayos X no monocromática
¿Otra configuración?

Los equipos de Hiden se configuran según la muestra, la presión y las especies a medir. Si no ves aquí la combinación que necesitas, cuéntanos tu aplicación.

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